太陽能發(fā)電網(wǎng)訊 日前，東方集成在上海某研究所成功安裝了SENTECH SI500D等離子體沉積系統(tǒng)。SI500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備，用于在基片上沉積 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉積薄膜的厚度、折射率、應(yīng)力可以簡單的、連續(xù)的調(diào)節(jié)。

　　據(jù)介紹，這是帶LOADLOCK的SI500D等離子沉積系統(tǒng)在中國的第一次安裝。SENTECH ICP-PECVD設(shè)備的安裝，由德國原廠技術(shù)支持工程師和東方集成工程師共同完成，由SENTECH和東方集成共同承擔(dān)售后保修，具有標志性的歷史意義。
　　北京東方中科集成科技股份有限公司（簡稱“東方集成”）是在中關(guān)村科技園區(qū)注冊的高新技術(shù)企業(yè)，是中國電子測試與科學(xué)分析領(lǐng)域領(lǐng)先的綜合服務(wù)商，是SENTECH中國區(qū)的重要戰(zhàn)略合作伙伴。公司客戶涉及工業(yè)電子制造、文教科研、通信以及信息技術(shù)、微電子、新能源、生物醫(yī)藥等多個領(lǐng)域，通過與知名廠商的合作，為客戶提供產(chǎn)品增值銷售、應(yīng)用解決方案、科技租賃、計量校準、維修維護和科技資產(chǎn)外包管理等綜合服務(wù)。