十二五中國將重點(diǎn)發(fā)展光伏生產(chǎn)專用設(shè)備：支持還原、氫化等多晶硅生產(chǎn)設(shè)備，大尺寸、低能耗、全自動單晶爐，噸級多晶硅鑄錠爐，大尺寸、超薄硅片多線切割機(jī)，硅片自動分選機(jī)等關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備。支持多槽制絨清洗設(shè)備、全自動平板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積(PECVD)、激光刻蝕機(jī)、干法刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、全自動印刷機(jī)、快速燒結(jié)爐等晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設(shè)備和PECVD等薄膜光伏電池生產(chǎn)設(shè)備。促進(jìn)光伏生產(chǎn)裝備的低能耗、高效率、自動化和生產(chǎn)工藝一體化。