日前，由中國航天科技集團(tuán)公司八院航天機(jī)電太陽能公司承擔(dān)的技術(shù)推廣項(xiàng)目“連續(xù)式等離子體太陽電池減反射膜制備系統(tǒng)開發(fā)”，順利通過了國家國防科工局和中國航天科技集團(tuán)公司驗(yàn)收。該項(xiàng)目完成了PECVD系統(tǒng)集成的研制和配套工藝技術(shù)研究，突破了大型真空腔的工業(yè)化制造、大面積線性微波等離子源技術(shù)和多層鍍膜均勻性等關(guān)鍵技術(shù)，生產(chǎn)效率比要求指標(biāo)提高了50%，申報(bào)了6項(xiàng)專利，其中發(fā)明專利3項(xiàng)，并形成了一批工藝訣竅。


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